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光学薄膜应用场景丰富,在智能手机、车载镜头、智能家居、医疗检测等领域均可广泛应用。近年来,光学镀膜客户对产能和稳定性要求越来越高,但市面上大部分光学类镀膜产品使用电子束蒸发光学机生产,其产量低,装载量少,单炉生产时间长,成本较高,难以满足当前客户需求。
在此机遇下,广东振华科技通过技术与工艺创新,最新推出的自动化磁控溅射镀光学膜设备SOM系列设备——SOM2550,完全区别于普通的电子束蒸发镀膜设备,设备在自动化程度、产能、生产效率、膜层性能等方面,都明显优于普通电子束蒸发镀膜设备,为光学行业客户提供了高性价比的量产新型PVD解决方案。
SOM系列设备是一台带回传功能的自动化闭环生产线镀膜设备,外设机械手上下载片,并配备可分隔的进出料腔,进料与出料同时自动进行。设备全程自动化,生产效率高,大幅度降低人工成本。
SOM系列设备载量大,默认配套24块载片,有效镀膜面积高达8平方米。与常规电子束蒸发光学机对比,其产能增加约50%,能耗降低约20%。
●可镀多种/多重精密光学膜:如AR膜、AS/AF膜、高反膜等高精度多层光学薄膜;
●镀膜品质好:配备独立镀膜腔,始终保持镀膜室的真空状态,有利于保证镀膜品质;
●膜层致密:采用磁控溅射镀膜技术,离子源能量高,膜层更致密,结合力更优;
●镀制膜层稳定性更高:设备配备了良好的抽气系统、稳定的电源输出、高稳定性的阴极系统、高速的工件旋转系统、精密的全自动程序控制系统,使得镀制膜层时具备极为稳定的沉积速率,保证膜层厚度精准,应力小,重复性好;
●硬度高:配备高能离子源,膜层反应程度高,可得到高纯化合物膜层,膜层硬度大幅提升:对比蓝宝石镀膜机,沉积膜层 SixNx纯度更高,硬度可达9H;
●膜系搭配灵活:可在线变更膜系工艺,满足不同工艺要求,节省工艺研发成本。
设备型号
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SOM2550
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夹具规格
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1300x310(mm),24片
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有效镀膜高度
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1100(mm)
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离化系统
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离子源
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镀膜系统
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旋转阴极
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真空泵组
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分子泵,粗抽泵,罗茨泵
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SOM设备可沉积TiO2、SiO2、Nb2O5、NB、CR、Ni、In、Ag、AF等材料,可实现各类光学彩膜、AR膜等膜系。
设备可广泛应用于手机盖板、车载玻璃显示屏、摄像头等玻璃类产品,电子烟雾化芯产品、树脂片等。
广东振华科技股份有限公司始创于1992年,总公司位于中国三大真空工业基地之—— 广东省肇庆市,是一家集研发、生产、销售、服务为一体的综合型真空镀膜设备企业。公司拥有三个生产基地,分别为云桂振华工业园、北岭生产基地以及蓝塘生产基地,占地面积超100亩;并拥有独立的办公、科研大楼和现代标准化生产车间。同时设有广东振华科技股份有限公司广东广州分公司、湖北办事处等多个销售服务点。
凭借对真空镀膜技术垂直深耕以及技术积累和创新,广东振华已拥有多项专利证书及荣誉资质,先后获得“高新技术企业”“ISO 9001质量体系认证”“广东省高成长企业”“广东省名牌产品”等荣誉认证。2022年,获评国家级第四批专精特新“小巨人”企业。目前,广东振华已与国内外众多大型企业、上市公司建立了长期、深厚的合作关系,在行业内具备全方位竞争能力,历史交付设备超5000台。
坚持自主研发,通过持续迭代和创新,不断为行业提供优质产品,广东振华将继续加快推动关键技术研发和生产工艺升级,以最高标准提升产品性能和质量,为客户提供高性价比的光学PVD解决方案。
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原文始发于微信公众号(真空技术与设备网):广东振华:高效光学镀膜PVD方案解决商